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愛德華螺桿真空泵IH600維修，螺桿真空泵IH1000維修

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愛德華半導(dǎo)體真空泵系列：iXL 干泵, iXL120. iH 干泵, iH80 干泵,iH160 干泵,iH160HTX 干泵,iH600 干泵,iH1000 干泵,iH1800 干泵,iH1800HTX 干泵. EPX 工具上高真空泵, EPX180L 干泵,EPX180LE 干泵,EPX180N 干泵,EPX180NE 干泵,EPX500L 干泵,EPX500LE 干泵,EPX500N 干泵,EPX500NE 干泵. iGX 干泵, iGX100L 干泵,iGX600L 干泵,iGX100N 干泵,iGX600N 干泵,iGX1000N 干泵,iGX100M 干泵,iGX100MTI 干泵,iGX600M 干泵. GX 干泵, GX100L 干泵,GX100N 干泵,GX600L 干泵,GX600N 干泵,GX1000N 干泵,GX100TI 干泵. pHMB, pHMB1800 近程增壓泵,pHMB2400 近程增壓泵,pHMB3000 近程增壓泵. 集成真空和廢氣管理, Zenith CVD 和 Zenith EPI,Zenith Etch 等離子體,Zenith Etch i250,ReGIS,Zenith CVD 化學(xué)氣相沉積,Zenith III-V. 內(nèi)向點(diǎn)火燃燒器, Atlas TCS,Atlas TPU,Atlas Kronis,Atlas Helios,Atlas Etch. 電子點(diǎn)火熱處理, HOx – 熱氧化系統(tǒng),Mistral – 氧化裝置. 氣體反應(yīng)塔 (GRC) 系列, Inline 250,M150,M150i,GaNcat 氣體反應(yīng)塔. 濕式清洗器, Tempest. 排氣管道加熱, 濕式靜電除塵器 (WESP),水冷捕集器 (WCT),引火調(diào)節(jié)系統(tǒng) (PCS). Spectra-G,Spectra Z. Plasma 廢氣管理系統(tǒng), Sirius 6000 系統(tǒng).

東莞市揖電真空維修愛德華半導(dǎo)體真空泵IH1800,IXL120,IGX600L等，提供螺桿真空泵維修包，真空油脂，全國(guó)范圍內(nèi)上門服務(wù)。

提供各種系列的配件及其真空泵油：真空泵油脂：
V-Lube: V-Lube F 油 - 205 升（54 美國(guó)加侖）,V-Lube F 油 - 208 升（55 美國(guó)加侖）,V-Lube F 油 - 25 升（6.6 美國(guó)加侖）,V-Lube F 油 - 3.8 升（1 美國(guó)加侖）,V-Lube F 油 - 5 升（1.3 美國(guó)加侖）
Ultragrade 油: Ultragrade 15 油，1 升|Ultragrade 15 油，12 X 1 升|Ultragrade 15 油，205 升|Ultragrade 15 油，4 X 4 升|Ultragrade 15 油，4 升|Ultragrade 19 油，1 升|Ultragrade 19 油，12 X 1 升|Ultragrade 19 油，205 升|Ultragrade 19 油，4 X 4 升|Ultragrade 19 油，4 升|Ultragrade 20 油，1 升|Ultragrade 20 油，12 X 1 升|Ultragrade 20 油，205 升|Ultragrade 20 油，4 X 4 升|Ultragrade 20 油，4 升|Ultragrade 70 油，205 升|Ultragrade 70 油，4 X 4 升|Ultragrade 70 油，4 升

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